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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Buch (broschiert)135.00 CHF
lieferbar in ca. 20-45 Arbeitstagen

Inhalt

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.

Bibliografische Angaben

Februar 2019, 138 Seiten, NanoScience and Technology, Englisch
Springer Nature EN
978-3-030-09455-3

Inhaltsverzeichnis

Schlagworte

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