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Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro–Electro–Mechanical Systems (N/MEMS)
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erhältlich ab Juni 2021
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Bibliografische Angaben
Juni 2021
,
Wiley Series in Materials for Electronic & Optoelectronic Applications
,
Englisch
Wiley
978-1-119-13079-6
Schlagworte
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