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Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro–Electro–Mechanical Systems (N/MEMS)
Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and ...
Bibliografische Angaben
Juni 2021, Wiley Series in Materials for Electronic & Optoelectronic Applications, Englisch
Wiley
978-1-119-13079-6
Schlagworte
Bibliografische Angaben
Juni 2021, Wiley Series in Materials for Electronic & Optoelectronic Applications, Englisch
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978-1-119-13079-6
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