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Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro–Electro–Mechanical Systems (N/MEMS)
Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and ...
Informations bibliographiques
juin 2021, Wiley Series in Materials for Electronic & Optoelectronic Applications, Anglais
Wiley
978-1-119-13079-6
Mots-clés
Informations bibliographiques
juin 2021, Wiley Series in Materials for Electronic & Optoelectronic Applications, Anglais
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978-1-119-13079-6
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