Fokusthemen
Publikationen
Services
Autorinnen/Autoren
Verlag
Shop
LEXIA
Zeitschriften
SachbuchLOKISemaphor
Logo
DE | FR
cover
Microlithography

Microlithography

Science and Technology
Buch (broschiert)80.00 CHF
lieferbar in ca. 10-20 Arbeitstagen

Inhalt

Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.

Bibliografische Angaben

Juni 2024, 850 Seiten, Englisch
Taylor and Francis
978-1-03-283673-7

Inhaltsverzeichnis

Schlagworte

Weitere Titel zum Thema

Applied Laser Spectroscopy
Taylor and Francis, 2026
978-1-4398-1364-5
ca. 105.00 CHF
erhältlich ab Januar 2026
Handbook of Optical Ceramics
Taylor and Francis, 2026
978-1-4200-8737-6
ca. 129.00 CHF
erhältlich ab Januar 2026
Fluctuation Mechanism and Control on System Instantaneous Availability
Taylor and Francis, 2026
978-1-138-89427-3
ca. 85.00 CHF
erhältlich ab Januar 2026
Design Principles of Autonomous Systems
UAV, UGV, and AUV
Taylor and Francis, 2025
978-1-032-45267-8
ca. 179.00 CHF
erhältlich ab Juli 2025
Digital Image Processing and Analysis
Digital Image Enhancement, Restoration and Compression
Taylor and Francis, 2025
978-1-032-11710-2
ca. 79.00 CHF
erhältlich ab März 2025
Digital Twins of Advanced Materials Processing
Elsevier, 2026
978-0-443-32918-0
ca. 259.00 CHF
erhältlich ab Januar 2026
Ultrashort Pulses
Generation And Spectroscopic Applications
Taylor and Francis, 2026
978-1-4398-4006-1
ca. 165.00 CHF
erhältlich ab Januar 2026
Microgrid Handbook
Planning to Practices
Taylor and Francis, 2025
978-1-032-11337-1
ca. 275.00 CHF
erhältlich ab August 2025