Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition

Thema dieses Buches sind verschiedene Plasmaverfahren zur gezielten Modifikation von Oberflächen und oberflächennahen Schichten fester Werkstoffe. Die Gemeinsamkeit der diskutierten Methoden besteht darin, daß das bearbeitete Werkstück in ein Plasma eingebracht wird; den Ionen des Plasmas wird dabei die zur Implantation erforderliche kinetische Energie zugeführt. (09/00)